O primeiro equipo de produción en masa para a limpeza con ácido fluorhídrico en China foi trasladado con éxito á fábrica de paneis

A limpeza con ácido fluorhídrico é unha ligazón clave no proceso de visualización. O seu efecto de limpeza afecta directamente ao rendemento final, á eficiencia e á estabilidade da estrutura do dispositivo, e está relacionado coa taxa de rendemento do produto final. A limpeza con ácido fluorhídrico non só elimina as impurezas da superficie da capa activa, senón que tamén pasiva a superficie, reducindo así a capacidade de adsorción das impurezas da interface. Os requisitos para a limpeza da superficie son moi estritos e teoricamente non permiten a presenza de partículas, ións metálicos ou adhesivos orgánicos. As capas de vapor de auga e óxido adxuntas requiren unha planitude a nivel atómico na superficie para garantir a fiabilidade do proceso do proceso posterior ao procesamento.